第25巻・第3号(2000年)　イオンビーム

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題名

著者

頁

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1.ナノデバイス作製のための集束イオンビーム加工技術	電総研 古室昌	3
2.超LSI作製のためのリアクティブイオンエッチング技術	東京理科大学　谷口淳，宮本岩男	9
3.金属や高分子の表面改質のためのイオン注入技術	理研 岩木	17
4.クラスターイオンビームによる材料表面の高機能化	イオン工学研究所　江浦隆	25

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