半導体シンポジウム基調講演（シンポジウム内）　

「日の丸半導体」を先導する企業責任者の講演を予定しています。

講師：Rapidus株式会社 常務執行役員 赤堀浩史氏 題目：Rapidusが目指す先端半導体製造の現状と課題 　　　〜精密プロセスを支える管理・制御技術〜 時間：13:30-14:30 会場：全学講義棟1号館3F　301室 参加費：無料（ただし、事前申込制）

　※事前申込はこちらから

講師紹介 Rapidus株式会社 常務執行役員 赤堀 浩史 （あかほり ひろし）氏 1993年に株式会社東芝に入社後、半導体事業の研究開発部門にて、生産技術（ユニットプロセス・インテグレーション・検査計測）・先端デバイスの開発を担当。2017年に東芝四日市工場（現・キオクシア株式会社 四日市工場）の生産技術部長として、生産技術、歩留改善業務に加え、2019年より副工場長としてビッグデータを活用した半導体製造のスマート化に取り組む。2021年より、同社の全体のDX化推進を担当。2024年に日本セミラボ株式会社の副社長を経て、同年6月にRapidus株式会社に入社し、現職に就く。現在は北海道千歳市の開発拠点であるIIMのオペレーションを担当。博士（工学）東北大学。名古屋大学低温プラズマ科学研究センター、客員教授。

講演概要 先端デバイスの製造においては、原子・分子レベルに及ぶ極めて高い精度と、そのプロセス再現性が求められます。本講演では、その実情を概観するとともに、精密プロセスを実現する上で、不可欠となる「管理する技術」、そして「制御する技術」の重要性について解説いたします。しかしながら、その実現には多くの技術的な課題が存在します。その課題を具体的にお伝えすると共に、アカデミア並びに学会との連携が果たす大きな役割と、その期待について述べます。さらに、Rapidusが描く半導体産業の未来像にも触れ、産業全体が向かうべき方向性について展望いたします。

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開催日時＆場所

開催時間	13:30-14:30　半導体シンポジウム基調講演 14:30-15:50　シンポジウム講演会
会場	全学講義棟1号館　3F　301室　ビル外観
ご案内	半導体製造装置開発の最前線

2026 年度精密工学会春季大会特別シンポジウム 第4 弾
「半導体製造装置開発の最前線」

シンポジウム趣旨
半導体はあらゆる産業の活動を支える技術基盤を提供しています。生成AIの発展や自動車の知能化を始め、DXの急速な拡大と高度化によって、その役割は増すばかりです。今日の半導体にはナノメートルサイズの3次元構造が組み込まれており、微細化と高集積化において、終わりのない進化を続けています。本シンポジウムでは、日本半導体製造装置協会（SEAJ）のご協力により、世界トップレベルの技術力とシェアをもつ日本の半導体製造装置メーカーの研究者に講演いただきます。はじめに、基調講演としてRapidus株式会社 常務執行役員 赤堀浩史氏より、先端半導体製造の現状と課題、さらには、半導体産業の未来像、産業全体が向かうべき方向性について講演いただきます。シンポジウムでは、半導体製造装置の最新制御技術、AI/DXを駆使した先端技術開発など、半導体製造に欠かせない技術分野の最新の研究開発や課題を解説していただきます。学会の研究者・技術者の方々には、様々な点で興味深いニーズやシーズを見つけていただけると思います。また、学生さんには魅力や親近感を感じていただけると思います。学会とは近そうで少し疎遠でもあった半導体製造技術分野との繋がりの機会になれば幸いです。

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プログラム（講演題目＆講師）

　業界トップクラスの技術者が登壇
　　技術をわかりやすく解説します

司会：岩本　花子
　　　所属・・・株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

主催：公益社団法人 精密工学会（JSPE）
共催：一般社団法人 日本半導体製造装置協会（SEAJ）

参 加 費：無料，事前申込制
申込方法：ホームページ（ https://2026-03spring.jspe.or.jp/semiconductor-sympo/ ）
申込み期限：2026年3月4日（水）
申 込 先：公益社団法人 精密工学会（URL：https://www.jspe.or.jp/）

14:35〜15:00	半導体製造装置の最新制御技術	「装置制御技術を対象とするMBD教育の産学連携」 概要：SEAJでは、半導体製造装置制御を対象とするMBD*人材育成の産学連携を進めており、その概要を紹介します。※MBDは「モデルベース開発」です。	アズビル株式会社技術開発本部基幹技術部 田中 雅人
15:00〜15:25	AI/DXを駆使した先端技術開発	「複雑化する半導体製造プロセスへの取り組み」 概要：複雑化・微細化・高積層化する半導体デバイスの製造プロセスと、プロセス開発効率やデバイス生産効率を向上するためのデータ駆動型アプローチをご紹介します。	東京エレクトロン株式会社コーポレート技術本部革新技術開発センター装置開発部 田中 尚人
15:25〜15:40	Q＆Aセッション	質疑応答など、不明なところや疑問点を説明します（スマートフォンアプリ“Ｓlido”を用います）	本日の講師とともに
15:40〜15:45	分科会について	半導体製造技術ネットワーク分科会について	分科会主査 長谷川 功宏
15:45	共催挨拶	日本半導体製造装置協会より	日本半導体製造装置協会専務理事 渡部 潔
15:50	閉会の挨拶	精密工学会より	精密工学会副会長 松村 隆

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備考

事前申込制です。お早めにお申し込み下さい。

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支援団体・バナー広告

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1）後援団体　・国立大学法人 埼玉大学　
2）協賛団体　・公益財団法人　精密測定技術振興財団　
3）寄付・支援企業　・DMG森精機株式会社